[发明专利]晶圆载环总成的角度定位方法以及实施该方法的机构

摘要

本发明涉及一种晶圆载环总成的角度定位方法以及实施该方法的机构，该方法包含有下列步骤：a)在该晶圆载环总成的一可透光薄膜上设置一非透明的定位标签；b)使该晶圆载环总成绕一旋转中心旋转，用于使该定位标签旋转地通过一光传感器的感测位置；c)在该光传感器侦知该定位标签通过该光传感器的感测位置之后，使该晶圆载环总成再旋转一预定角度α后停止于一目标位置，以此完成该晶圆载环总成的角度定位。其次，可利用贴附于该薄膜上的一条形码标签作为前述定位标签，使得该晶圆载环总成在进行定位时可一并进行条形码读取作业。

主权项

一种晶圆载环总成的角度定位方法，其中所述晶圆载环总成包含有一环圈、一撑张于所述环圈中的可透光薄膜，以及一附着于所述可透光薄膜上的晶圆；所述角度定位方法包含有下列步骤：a)在所述可透光薄膜上设置一非透明的定位标签；b)使所述晶圆载环总成绕一旋转中心旋转，用于使所述定位标签可旋转地通过一光传感器的感测位置；c)在所述光传感器侦知所述定位标签通过所述光传感器的感测位置之后，使所述晶圆载环总成再旋转一预定角度α后停止，以使所述定位标签到达一离开所述光传感器的感测位置的目标位置，其中在步骤c)中，当所述定位标签从一静止位置旋转到被所述光传感器侦知时，计算出所述定位标签的旋转角度θ，之后使所述晶圆载环总成再旋转所述预定角度α后停止，使所述定位标签到达相对所述定位标签的静止位置为所述旋转角度θ加上所述预定角度α的目标位置。