[发明专利]用于线锯的线引导件的夹具组件有效
申请号: | 201210415368.5 | 申请日: | 2012-10-22 |
公开(公告)号: | CN103056977A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 安德烈亚斯·施密特;纪尧姆·麦卡;亚历山大·米塔兹 | 申请(专利权)人: | 应用材料瑞士有限责任公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04;B28D5/04 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 王安武 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | 本发明涉及用于线锯的线引导件的夹具组件。公开了一种夹具组件,其用于连接到用于切割晶片的线锯的圆柱形线引导件。公开了轴侧连接器,其适合于连接到线锯的轴,该轴具有旋转轴线。轴侧连接器包括外表面,其与轴线垂直并且适合于抵靠线引导件的互补连接器的互补外表面。锥表面在外表面与轴线之间,锥表面被绕轴线对称地布置,并且适合于抵靠线引导件的互补表面。 | ||
搜索关键词: | 用于 引导 夹具 组件 | ||
【主权项】:
一种夹具组件,其用于连接到用于切割晶片的线锯的圆柱形线引导件(321),所述夹具组件包括:轴侧连接器(50、502、505),其适合于连接到线锯的轴,所述轴具有旋转轴线(10),其中,所述轴侧连接器(50、502、505)包括:外表面(30),其与所述轴线(10)垂直并且适合于抵靠所述线引导件(321)的互补连接器(51、503、504)的互补外表面(31),以及在所述外表面(30)与所述轴线(10)之间的锥表面(40),所述锥表面(40)被绕所述轴线(10)对称地布置并且适合于抵靠所述线引导件的互补表面(41)。
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