[发明专利]有机EL器件制造装置

摘要

本发明提供一种能高精度地控制基板与掩模的间隙的有机EL器件制造装置。有机EL器件制造装置的构成为，其具有：设置在真空处理室内的荫罩；放置基板的基板座；使基板与荫罩之间接近或分离的基板密合机构；以及设置于基板座的四角的距离计测机构，距离计测机构具有：设置成贯通基板座的距离计测用空间；设置于基板座的表面上的透明玻璃板；以及配置于距离计测用空间中的距离计测部，距离计测部具有：发射光并接收反射光以计测距离的距离计；使距离计与真空处理室内的气氛隔离的距离计箱体；以及设置在距离计箱体的一部分上的透明玻璃窗，距离计通过透明玻璃窗计测透明玻璃板与荫罩之间的距离。

主权项

一种有机EL器件制造装置，其具有：荫罩，该荫罩设置在真空处理室内；基板座，该基板座设置在真空处理室内，包含用于放置基板的基板放置区域的第一面为长方形；基板密合机构，该基板密合机构使放置在上述基板座上的基板与上述荫罩之间接近或分离；以及距离计测机构，该距离计测机构在上述基板座上设置于基板放置区域外的四角，上述有机EL器件制造装置的特征在于，上述距离计测机构具有：距离计测用空间，该距离计测用空间在上述基板座上设置于基板放置区域外的四角，并设置成贯通上述基板座的第一面和与该第一面相反一侧的第二面；透明玻璃板，该透明玻璃板在上述距离计测用空间中设置于上述基板座的第一面上；以及距离计测部，该距离计测部在上述距离计测用空间中配置于上述基板座的第二面上，上述距离计测部具有：对对象物发射光并接收从该对象物反射来的反射光，以计测与上述对象物之间的距离的距离计；使上述距离计与真空处理室内的气氛隔离的距离计箱体；以及设置在上述距离计箱体的一部分上的透明玻璃窗，上述距离计接收通过上述透明玻璃窗从上述透明玻璃板反射来的反射光、以及通过上述透明玻璃窗从上述荫罩反射来的反射光，并根据该接收光的结果来计测上述透明玻璃板与上述荫罩之间的距离。