[发明专利]一种超级结深沟槽结构无效
| 申请号： | 201210418306.X | 申请日： | 2012-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN103035723A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 刘远良;胡晓明 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/06 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 王函 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超级结深沟槽结构，所述超级结深沟槽包括原胞区和终端区；所述原胞区内的多个沟槽的形状均为条形，并且相邻沟槽的间距相等；所述终端区由两部分构成，一部分是终端区的四边，该终端区的四边内的沟槽形状为条形，另一部分是终端区的拐角处，该终端区的拐角处内的多个沟槽的形状为分离的四边形。本发明主要是针对超级结深沟槽设计，通过优化终端区拐角处沟槽设计，由各自独立的分离的四边形组合而成，而在原胞区内及其它非角落处，则保持正常匹配尺寸。利用该设计优化，可以改善制造工艺本身不可避免的工艺缺陷，能够避免拐角处空洞的出现，从而提高击穿电压，优化器件的电特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超级 深沟 结构 | ||
【主权项】：
一种超级结深沟槽结构，其特征在于，所述超级结深沟槽包括原胞区和终端区；所述原胞区内的多个沟槽的形状均为条形，并且相邻沟槽的间距相等；所述终端区由两部分构成，一部分是终端区的四边，该终端区的四边内的沟槽形状为条形，另一部分是终端区的拐角处，该终端区的拐角处内的多个沟槽的形状为分离的四边形。
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