[发明专利]具有界面绒化层的InP基发光二极管及其制造方法无效
申请号: | 201210418773.2 | 申请日: | 2012-10-26 |
公开(公告)号: | CN102956778A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 虞浩辉;周宇杭 | 申请(专利权)人: | 江苏威纳德照明科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/22 | 分类号: | H01L33/22 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人: | 黄明哲 |
地址: | 213342 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种发光二极管,包括:P-InP衬底,在P-InP上依次外延生长的p-InP缓冲层、布拉格反射层、p型包覆层、有源层、n型包覆层、电流扩展层和欧姆接触层;在电流扩展层和欧姆接触层之间具有界面绒化层;其中,界面绒化层为n-(AlxGa1-x)yIn1-yP,x为0.2~0.3,y为0.35~0.45;界面绒化层的掺杂浓度为5×1020~1×1021;界面绒化层的外延厚度为0.1~0.3微米。该发光二极管的外量子效率高,亮度高。 | ||
搜索关键词: | 具有 界面 绒化层 inp 发光二极管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种发光二极管,包括:P‑InP衬底,在P‑InP上依次外延生长的p‑InP缓冲层、布拉格反射层、p型包覆层、有源层、n型包覆层、电流扩展层和欧姆接触层;其特征在于,在电流扩展层和欧姆接触层之间具有界面绒化层;其中,界面绒化层为n‑(AlxGa1‑x)yIn1‑yP,其中x为0.2~0.3,y为0.35~0.45;界面绒化层的掺杂浓度为1×1020~5×1021,界面绒化层的外延厚度优选为0.1~0.3微米。
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