[发明专利]MTP存储单元在审
申请号: | 201210422438.X | 申请日: | 2012-10-30 |
公开(公告)号: | CN103794246A | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | 仲志华 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | G11C16/02 | 分类号: | G11C16/02 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁纪铁 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种MTP存储单元,包括:选择晶体管N1、编程电容C1和擦除电容C2;选择晶体管N1的漏端作为MTP存储单元的位线BL,选择晶体管N1源端作为整个MTP存储单元的源端SG;编程电容C1的上极板和选择晶体管N1栅极相连,为同一个浮栅;编程电容C1的下极板是整个MTP存储单元的字线WL;擦除电容C2的上极板作为MTP的擦除端EG;擦除电容C2的下极板与编程电容C1的上极板相连,为同一个浮栅。本发明针对传统MTP存储单元进行了改进和优化,能嵌入普通的逻辑工艺,不需增加额外掩膜及工艺,其应用范围更广,在各种数字及数模混合工艺平台上都能有较高的编程效率,与现有MTP存储单元相比具有更高编程效率,更高擦除性能和可靠性,能缩小MTP存储单元的面积。 | ||
搜索关键词: | mtp 存储 单元 | ||
【主权项】:
一种MTP存储单元,其特征是,包括:选择晶体管(N1)、编程电容(C1)和擦除电容(C2);选择晶体管(N1)的漏端作为MTP存储单元的位线(BL),选择晶体管(N1)源端作为整个MTP存储单元的源端(SG);编程电容(C1)的上极板和选择晶体管(N1)栅极相连,为同一个浮栅;编程电容(C1)的下极板是整个MTP存储单元的字线(WL);擦除电容(C2)的上极板作为MTP存储单元的擦除端(EG);擦除电容(C2)的下极板与编程电容(C1)的上极板相连,为同一个浮栅。
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