[发明专利]一种铟锡氧化物靶材的制备方法

摘要

本发明描述了一种铟锡氧化物靶材的制备方法。该方法以纯度大于99.99%、平均粒径0.02~2微米的铟锡氧化物粉末作为主原料，与由纯水、水溶性环氧树脂和分散剂制成的预混液进行充分球磨混合得到均匀分散、容易流动的浆料，经浇注、固化和干燥后得到高强度生坯，经脱脂，烧结后，得到In₂O₃单相立方结构、相对密度达到99.5%、电阻率小于0.1mΩ·cm且成分均匀的高质量ITO靶材。本发明所得的ITO靶材密度高，可实现大尺寸化和形状多样化，生坯无需进行等静压处理，生产效率和成品率可大大提高；采用的凝胶体系为无毒水溶性环氧树脂，可有效提高生产安全系数并大幅降低工业化生产对环境的污染。

主权项

一种铟锡氧化物靶材的制备方法，其特征在于，采用凝胶注模成型和氧气氛高温烧结制备ITO靶材；依次包括以下步骤：（1）以氧化锡和氧化铟的混合粉体，或者氧化锡和氧化铟的化学共沉淀粉体为原料；（2）将水溶性环氧树脂溶解在纯水中，再加入分散剂和步骤（1）中的原料粉体，搅拌并球磨后得到浆料，原料粉体占浆料的固相体积含量为40～60%；（3）在步骤（2）得到的浆料中加入固化剂和脱气剂，搅拌抽真空除去浆料中气体，然后浇注入模具，固化、干燥，得到生坯；（4）对步骤（3）得到的生坯进行脱脂和致密化处理，得到相对密度大于99.5%、电阻率小于0.1mΩ·cm、具有In₂O₃单相立方结构的铟锡氧化物靶材；步骤（2）所述的水溶性环氧树脂为海因环氧树脂、乙二醇二缩水甘油醚、丙三醇缩水甘油醚和山梨醇聚甘油醚中的一种，加入量为纯水的5wt%～30wt%；步骤（4）中在300～600℃下保温1～5小时脱除生坯中的有机物，然后将脱脂生坯在1～2倍大气压的纯氧气氛下1450～1700℃保温6～24小时，升温速度50～100℃/h，降温速度100～200℃/h；降温至600℃随炉冷至100℃出炉。