[发明专利]铟锡氧化物靶材的制作方法有效
| 申请号： | 201210426065.3 | 申请日： | 2012-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103787651A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622;C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种铟锡氧化物靶材的制作方法，包括：提供ITO粉料；采用静压工艺将ITO粉料预压成型，形成第一ITO靶材坯料；将第一ITO靶材坯料放入第一包套并抽真空；采用冷等静压工艺对第一包套内的第一ITO靶材坯料进行处理，形成第二ITO靶材坯料；去除所述第一包套后，将第二ITO靶材坯料放入第二包套，并抽真空；采用热等静压工艺对所述第二包套进行处理，形成第三ITO靶材坯料；去除所述第二包套后，对所述第三ITO靶材坯料进行机械加工形成ITO靶材。本发明突破了ITO粉料不易成型，易分解，会被还原等特点带来的加工ITO靶材的局限，能形成具有优良的致密度、内部组织结构的均匀性的ITO靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 制作方法 | ||
【主权项】：
一种铟锡氧化物靶材的制作方法，其特征在于，包括：提供ITO粉料；采用静压工艺将ITO粉料预压成型，形成第一ITO靶材坯料；将第一ITO靶材坯料放入第一包套并抽真空；采用冷等静压工艺对第一包套内的第一ITO靶材坯料进行处理，形成第二ITO靶材坯料；去除所述第一包套后，将第二ITO靶材坯料放入第二包套，并抽真空；采用热等静压工艺对第二包套内的第二ITO靶材坯料进行处理，形成第三ITO靶材坯料；去除所述第二包套后，对所述第三ITO靶材坯料进行机械加工形成ITO靶材。
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