[发明专利]超精加工装置

摘要

本发明涉及一种即使在改变了砂轮相对于轴承滚道面的倾斜角度的情况下，也不需要对该角度进行手动调节操作的超精加工装置。在该装置中，通过使摆动装置30和驱动装置40能够沿X轴方向和Z轴方向移动，能够使中间轴主轴42和振动主轴37在X轴方向和Z轴方向互相相对移动，因此能够任意设定砂轮3相对于轴承滚道面12的倾斜角度。因而，即使在改变了砂轮3相对于轴承滚道面12的倾斜角度的情况下，也无需对该角度进行手动调节操作，可以进行自动调节，能够实现高速化。

主权项

一种超精加工装置，其特征在于，具有：主轴头，其对沿第一轴向延伸的大致圆筒形状的轴承内圈或轴承外圈进行把持，驱动所述轴承内圈或所述轴承外圈围绕第一轴旋转；砂轮架，其把持砂轮并将所述砂轮向所述轴承内圈或所述轴承外圈的轴承滚道面推压；摆动装置，其支承所述砂轮架，使所述砂轮架能够在所述第一轴向摆动；和驱动装置，其驱动所述摆动装置，所述驱动装置具有用于输出其旋转动力的输出部和输出侧连接构件，所述输出部沿着垂直于所述第一轴向的第二轴向延伸，并能够围绕第二轴旋转，所述输出侧连接构件连接在所述输出部的偏离其旋转中心的位置，并能够自由旋转，所述摆动装置具有：用于输入所述驱动装置的输出部的动力的输入部和与所述输入部连接的输入侧连接构件，所述输入部沿所述第二轴向延伸，并能在所述第一轴向摆动，通过将所述输出侧连接构件与所述输入侧连接构件互相连接，将所述输出部的旋转运动转换为所述输入部的摆动运动，所述输出部和所述输入部能够沿所述第一轴向以及垂直于所述第一轴向和所述第二轴向的第三轴向相对移动。