[发明专利]一种MEMS光学干涉平台及组装方法有效
| 申请号： | 201210427520.1 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103063130A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 陈巧;谢会开;周亮 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01P3/36;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 214028 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS光学干涉平台，所述MEMS光学干涉平台包括硅片基座、第二镜体、第一镜体、驱动臂以及阻挡件，其中，所述硅片基座上开设有对准槽，所述对准槽中放置有所述阻挡件；所述硅片基座的一侧通过第一组驱动臂连接有第二镜体，相邻一侧通过第二组驱动臂连接有第一镜体。将第一镜体、第二镜体与阻挡件放置在同一个硅片基座上，形成一个光学干涉平台模块，降低干涉仪的组装难度；第一镜体与第二镜体均采用体积较小的MEMS微镜，构成的干涉平台体积也会比较小，且成本低；利用半导体加工工艺，可以更加准确对齐，减小组装误差；可通过控制驱动臂的工艺参数控制MEMS动镜的移动范围和速度；该微型干涉模块可广泛用于各种光学系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 光学 干涉 平台 组装 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS光学干涉平台，其特征在于，所述MEMS光学干涉平台包括硅片基座（4）、第二镜体（2）、第一镜体（1）、至少两组驱动臂（3）以及阻挡件（6），其中，所述硅片基座（4）上开设有对准槽（5），所述阻挡件（6）设置在所述对准槽（5）中；所述硅片基座（4）的一侧通过第一组驱动臂（31、32）连接第二镜体（2），相邻一侧通过第二组驱动臂（33、34）连接第一镜体（1）。
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