[发明专利]一种准单晶硅的清洗方法有效
| 申请号： | 201210427876.5 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103785640A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 李静;王昌贤;王雪芹 | 申请（专利权）人： | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵;李玉秋 |
| 地址： | 314117 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种准单晶硅的清洗方法，其特征在于，包括：a）将待清洗的准单晶硅进行手动超声酸洗和预冲洗；b）将步骤a）预冲洗后的准单晶硅进行超声酸洗；c）将步骤b）超声预酸洗后的准单晶硅在水中进行手动脱胶；d）将手动脱胶后的准单晶硅硅进行超声清洗。本发明提供的准单晶硅的清洗方法，使清除表面有机物，且不影响制绒效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种准单晶硅的清洗方法，其特征在于，包括：a）将待清洗的准单晶硅进行手动超声酸洗和预冲洗；b）将步骤a）预冲洗后的准单晶硅进行超声酸洗；c）将步骤b）超声预酸洗后的准单晶硅在水中进行手动脱胶；d）将手动脱胶后的准单晶硅硅进行超声清洗。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江昱辉阳光能源有限公司，未经浙江昱辉阳光能源有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210427876.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种促进汞污染土壤热处理修复的方法
- 下一篇：振动筛筛板及其清理装置
