[发明专利]离子束引出电极和离子源无效
| 申请号： | 201210428083.5 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103094029A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 井内裕 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J27/16 | 分类号： | H01J27/16;H01J37/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 夏东栋;陆锦华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开一种离子束引出电极和离子源。一种离子束引出电极，包括：电极框架以及多个离子引出孔形成部件。多个离子引出孔形成部件在一方向上间隔地设置。各个离子引出孔形成部件的至少一端被可移动地支撑。多个离子引出孔形成部件包括至少一个第一离子引出孔形成部件，其具有基本上杆形的主体部以及从主体部延伸的第一过渡部。第一过渡部与邻近第一离子引出孔形成部件的第二离子引出孔形成部件接触。以及一种离子源，包括其中具有阴极的等离子体容器，以及邻近等离子体容器设置的至少一片离子束引出电极。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 引出 电极 离子源 | ||
【主权项】：
一种离子束引出电极，包括：在电极框架的中心处具有开口的电极框架；以及在一方向上间隔地设置的多个离子引出孔形成部件，各个离子引出孔形成部件的至少一端被在所述方向的垂直方向上可移动地支撑，其中多个离子引出孔形成部件包括至少一个第一离子引出孔形成部件，所述第一离子引出孔形成部件具有杆形的主体部以及从所述主体部延伸的第一过渡部，以及所述第一过渡部与邻近所述第一离子引出孔形成部件的第二离子引出孔形成部件接触。
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