[发明专利]铬靶材的制作方法有效
| 申请号： | 201210429639.2 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN103785838A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/16 | 分类号： | B22F3/16;C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种铬靶材的制作方法，包括：首先提供铬粉末；接着将铬粉末放置入真空包套并抽真空；然后采用热等静压工艺对真空包套内的铬粉末进行烧结成型，形成铬靶材；完成烧结成型后，进行冷却并拆除真空包套取出铬靶材。采用本发明提供的铬靶材的制作方法，避免使用模具，同时，形成的铬靶材的致密度、内部组织结构的均匀性优于采用热压形成的铬靶材的致密度、内部组织结构的均匀性，而且，铬靶材的纯度也能满足要求越来越高的溅射工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 铬靶材 制作方法 | ||
【主权项】：
一种铬靶材的制作方法，其特征在于，包括：提供铬粉末；将铬粉末放置入真空包套并抽真空；采用热等静压工艺对真空包套内的铬粉末进行烧结成型，形成铬靶材；完成烧结成型后，进行冷却并拆除真空包套取出铬靶材。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料有限公司，未经宁波江丰电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210429639.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：轨道交通信号故障应急系统
- 下一篇：船舶用推进器
