[发明专利]一种冗余金属填充方法及装置有效
| 申请号： | 201210430020.3 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN102930159A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 杨飞;陈岚;马天宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G06F19/00 | 分类号： | G06F19/00;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种冗余金属填充方法及装置，用于解决现有技术中的冗余金属填充方法填充金属量较大的问题。包括：沿电路版图的一角，将电路版图划分为多个小区域；计算各小区域内金属块的体积占小区域的容积的比率，以得到各小区域的金属填充比率；计算各小区域的金属填充比率与其相邻的小区域的金属填充比率的差值；计算各小区域内的金属块的周长；按照各小区域的金属填充比率与其相邻小区域的金属填充比率的差值以及金属块的周长对各小区域进行冗余金属填充。该方法减少了冗余金属的填充量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冗余 金属 填充 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种冗余金属填充方法，其特征在于，包括：沿电路版图的一角，将所述电路版图划分为多个小区域；计算各小区域内金属块的体积占所述小区域的容积的比率，以得到各小区域的金属填充比率；计算各小区域的金属填充比率与其相邻的小区域的金属填充比率的差值；计算各小区域内的金属块的周长；对所述差值中大于预设值的相邻小区域按照各小区域的金属填充比率与其相邻小区域的金属填充比率的差值以及金属块的周长进行冗余金属填充。
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