[发明专利]一种掩膜板及其制备方法

摘要

本发明公开了一种掩膜板，包括掩膜板本体，掩膜板本体具有的透光区具有由光刻胶制备而成的透光膜，透光膜的吸光率由其中线向两侧非透光区的方向逐渐增大。透光膜的吸光率由其中线向两侧非透光区的方向逐渐增大，降低了透光区的光向非透光区方向的衍射效应，同时，透光膜的吸光率由其中线向两侧非透光区的方向具有一个渐变的过程，而透光区中心区域的光向透光区的两侧位置衍射，所以，整个透光区射在基板表面光刻胶上的光线强度比较均匀，曝光显影时能够较好地控制基板上残留的光刻胶两侧的宽度，且光刻胶的两个侧边的均匀度较好，毛刺较少，提高了对得到结构的线宽的控制精度。本发明还提供了一种上述掩膜板的制备方法。

主权项

一种掩膜板，其特征在于，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体具有非透光区和透光区，所述透光区具有由光刻胶制备而成的透光膜，所述透光膜的吸光率由其中线向两侧非透光区的方向逐渐增大。