[发明专利]测量装置

摘要

本发明公开了测量装置。本发明提供一种测量参考表面与测试表面之间的距离的测量装置，该测量装置包括：n个（n=不小于2的整数）频率扫描光源；分光元件，其被配置为将来自所述n个频率扫描光源中的每个的光束分离为入射到参考表面和测试表面；检测器，其被配置为一次检测由被参考表面反射的光束和被测试表面反射的光束的干涉形成的n个干涉光束，并输出干涉信号；和处理单元，其被配置为执行获得所述距离的处理。

主权项

一种测量参考表面与测试表面之间的距离的测量装置，包括：n个频率扫描光源，其中n是不小于2的整数；分光元件，其被配置为将来自所述n个频率扫描光源中的每个的光束进行分离以入射到所述参考表面和所述测试表面；检测器，其被配置为一次检测由被所述参考表面反射的光束和被所述测试表面反射的光束的干涉形成的n个干涉光束，并输出干涉信号；和处理单元，其被配置为执行获得所述距离的处理，其中，所述处理单元执行控制以便以第一扫描速度、在第一方向上扫描来自所述n个频率扫描光源中的第一光源的光的频率，并执行控制以便以不同于第一扫描速度的第二扫描速度、在与第一方向相反的第二方向上扫描来自所述n个频率扫描光源中的不同于第一光源的第二光源的光的频率，并且所述处理单元通过下述方式来获得所述距离：在控制所述n个频率扫描光源的同时，将从所述检测器输出的、包括所述n个干涉光束的检测结果的所述干涉信号划分为与所述n个干涉信号对应的n个信号，并对所述n个信号进行处理。