[发明专利]一种监控设备运行状态的系统及方法有效
| 申请号： | 201210432475.9 | 申请日： | 2012-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102937802A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 张晓东;周利民;李臻 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种监控设备运行状态的系统及方法。本发明提出一种监控设备运行状态的系统及方法，通过根据预设的作业时间与运行中实际作业时间的比对，对疑似异常死机的设备及时进行自动报警，同时将该疑似死机的设备信息显示出来，以便于工程师方便、及时、准确的对异常的生产设备进行检查分析，从而在提高工程师巡检效率的同时，有效的避免了生产设备机时的浪费，进而降低了整个生产工艺的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监控 设备 运行 状态 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种监控设备运行状态的系统，应用于自动化生产线上，包括用于对芯片进行工艺处理的生产设备，其特征在于，还包括： 监测模块，与所述生产设备进行通讯连接，以用于从所述生产设备上提取设备信息；判断模块，分别与所述自动化生产线和所述检测模块进行通讯连接，根据提取的所述设备信息判断所述生产设备的运行状态，并根据该运行状态决定是否触发警报。
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