[发明专利]对准标记及其制备方法有效
| 申请号： | 201210433331.5 | 申请日： | 2012-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN103176373A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 江宸谷;吴元薰 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 冯志云;吕俊清 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种对准标记及其制备方法。对准标记包含多个标记单元，各标记单元包含一第一元件和多个第二元件，各第二元件包含相对的第一和第二端部，其中所述多个第二元件沿一方向排列，而第一元件靠近所述多个第二元件的第一端部延伸并平行所述多个第二元件的排列方向。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种对准标记，包含多个标记单元，各标记单元包含一第一元件和多个第二元件，各第二元件包含相对的第一端部和第二端部，其中所述多个第二元件沿一方向排列，而该第一元件靠近所述多个第二元件的第一端部并平行所述多个第二元件所排列的该方向延伸。
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