[发明专利]用于用干涉测量法测量物体的装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于用干涉测量法测量物体的装置，包括产生输出射线的辐射源、将输出射线分成测量射线和参考射线的分光器装置、以及光学叠加装置和第一检测器，光学叠加装置和第一检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地反散的测量射线和第一参考射线在第一检测器的至少一个检测面上叠加。分光器装置构造成用于将输出射线分成测量射线、第一参考射线和至少一个第二参考射线，所述装置具有至少一个第二检测器，光学叠加装置和第二检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地散射的测量射线作为第一接收射线和第二参考射线在第二检测器的至少一个检测面上叠加。此外本发明还涉及一种用于用干涉测量法测量物体的方法。

主权项

一种用于用干涉测量法测量物体的装置，包括：用于产生输出射线的辐射源，将输出射线分成测量射线和第一参考射线的分光器装置，光学叠加装置和第一检测器，其中，光学叠加装置和第一检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地反射的测量射线和第一参考射线在第一检测器的至少一个检测面上叠加，其特征在于，分光器装置构造成用于将输出射线分成测量射线、第一参考射线和至少一个第二参考射线，所述用于用干涉测量法测量物体的装置具有至少一个第二检测器，光学叠加装置和第二检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地散射的测量射线作为第一接收射线和第二参考射线在第二检测器的至少一个检测面上叠加，其中，所述至少部分地反射的测量射线与所述测量射线的光轴同轴，所述至少部分地散射的测量射线相对于所述测量射线的光轴倾斜，其中，所述分光器装置构造成用于将输出射线分成测量射线、第一参考射线、第二参考射线和至少一个第三参考射线，所述用于用干涉测量法测量物体的装置具有至少一个第三检测器，光学叠加装置和第三检测器构造成这样相互协作，使得由物体至少部分地散射的测量射线作为第二接收射线和第三参考射线在第三检测器的至少一个检测面上叠加，其中，所述用干涉测量法测量物体的装置构造成使得由测量射线和第二参考射线限定的第一平面和由测量射线和第三参考射线构成的第二平面是不同的。