[发明专利]提供化学物品的控制系统有效
| 申请号： | 201210434971.8 | 申请日： | 2012-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN103792856B | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 张文武;朱江宁;刁春华;周鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种提供化学物品的控制系统，通过添加信号线直接连接输入输出控制盘与化学物品供应系统，制程设备机台的需求信号能够通过输入输出控制盘直接传输至化学物品供应系统，化学物品供应系统能够根据需求信号做出相应的反应，同时输入输出控制盘也根据需求信号来控制阀门箱，并将相应的化学物品提供给制程设备机台。从而避免了现有技术中出现从输入输出控制盘到化学物品供应系统中的信号线和中央数据采集盘出现的信号传输中断问题，进而能够根据制程设备机台发出的需求信号正常的为制程设备机台提供所需化学物品。 | ||
| 搜索关键词： | 提供 化学 物品 控制系统 | ||
【主权项】：
一种提供化学物品的控制系统，包括：制程设备机台；与所述制程设备机台连接的阀门箱；与所述阀门箱连接的输入输出控制盘；以及化学物品供应系统；所述制程设备机台与阀门箱之间设置有第一段管路，所述阀门箱与化学物品供应系统之间设置有第二段管路；其特征在于，所述输入输出控制盘直接通过信号线与所述化学物品供应系统进行信号连接，所述信号线为硬线，传递需求信号；还包括一中央数据采集盘，与所述输入输出控制盘和所述化学物品供应系统连接。
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