[发明专利]一种快速响应的平板宽量程氧传感器

摘要

一种快速响应的平板宽量程氧传感器，包括电加热丝，在氧化锆材质的泵氧基体上表面丝网印刷有泵氧外电极，在泵氧基体和氧化锆材质的感应基体之间依次夹持有泵氧内电极、扩散阻挡层和感应外电极；在通道板上成型有参比通道，感应内电极丝网印刷在感应基体的下表面；通道板的下部依次是第一绝缘层、电加热丝和第二绝缘层氧化锆材质的加热基体位于第二绝缘层的下部，电加热丝的加热引出电极丝网印刷在加热基体的下表面且与电加热丝电连接；泵氧基体、感应基体、通道板和加热基体烧结固定在一起，泵氧外电极的泵氧外电极引出电极丝网印刷在泵氧基体的表面。所述多孔保护层覆盖在泵氧外电极前端表面上。它结构简单、组装方便，部件较少。

主权项

一种快速响应的平板宽量程氧传感器，包括电加热丝（11），其特征在于：在氧化锆材质的泵氧基体（3）上表面丝网印刷有泵氧外电极（2），在泵氧基体（3）和氧化锆材质的感应基体（7）之间依次夹持有泵氧内电极（4）、扩散阻挡层（5）和感应外电极（6）；在通道板（9）上成型有参比通道（91），感应内电极（8）丝网印刷在感应基体（7）的下表面；通道板（9）的下部依次是第一绝缘层（10）、电加热丝（11）和第二绝缘层（12），氧化锆材质的加热基体（13）位于第二绝缘层（12）的下部，电加热丝（11）的加热引出电极（14）丝网印刷在加热基体（13）的下表面且与电加热丝（11）电连接；泵氧基体（3）、感应基体（7）、通道板（9）和加热基体（13）烧结固定在一起，泵氧外电极（2）的泵氧外电极引出电极（21）丝网印刷在泵氧基体（3）的表面。