[发明专利]测试电路和包括测试电路的半导体装置有效
申请号: | 201210435156.3 | 申请日: | 2012-11-05 |
公开(公告)号: | CN103367327B | 公开(公告)日: | 2017-06-09 |
发明(设计)人: | 李东郁;金荣柱 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544;G01R31/28 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)11363 | 代理人: | 周晓雨,俞波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种测试电路和包括测试电路的半导体装置,所述测试电路包括穿通通孔测试单元,被配置成响应于第一测试控制信号而被设定成第一电阻值以及响应于第一测试控制信号和第二测试控制信号而被设定成第二电阻值,并且形成包括将第一芯片和第二芯片电连接的穿通通孔的电流路径;以及测试测量单元,被配置成将测试电压提供给穿通通孔,并且测量流经穿通通孔的电流。 | ||
搜索关键词: | 测试 电路 包括 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种测试电路,包括:穿通通孔测试单元,所述穿通通孔测试单元被配置成响应于第一测试控制信号而被设定成第一电阻值以及响应于所述第一测试控制信号和第二测试控制信号而被设定成第二电阻值,并且形成包括将第一芯片和第二芯片电连接的穿通通孔的电流路径;测试测量单元,所述测试测量单元被配置成将测试电压提供给所述穿通通孔,并且测量流经所述穿通通孔的电流量;以及测试控制单元,所述测试控制单元被配置成在双测试信号禁止而测试使能信号使能时将所述第一测试控制信号使能,以及在所述测试使能信号和所述双测试信号两者都使能时将所述第一测试控制信号和所述第二测试控制信号使能。
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