[发明专利]一种高弹性金属薄膜材料无效
| 申请号： | 201210438229.4 | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN102912295A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 蒋建中;姜清奎;曹庆平;马毅 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/35;C22C45/04 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 杜军 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高弹性金属薄膜材料。该材料的成分主要含有镍铌元素，结构状态为非晶态。该材料是通过镍铌靶材采用磁控溅射技术制备，所用镍铌靶材是通过纯度超过99.9%的镍和铌金属在高于3*10-3Pa的真空下氩气保护熔炼而成。所形成的金属玻璃薄膜厚度小于1000纳米，密度大于7.00g/cm3，同时密度小于10.00g/cm3，显示出明显的尺寸效应，正是这些尺寸效应使得其显示出大于等于2%的弹性极限，拉伸断裂后材料内不含有纳米晶存在。因其独特的高弹性、耐防腐等特征可广泛应用于作为体育器材、材料表面保护层等应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弹性 金属 薄膜 材料 | ||
【主权项】：
一种高弹性金属薄膜材料，其特征在于：该材料的化学组成主要含有镍和铌，结构状态为非晶态，薄膜厚度小于1000纳米。
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