[发明专利]金刚石线锯装置和方法有效

专利信息
申请号: 201210439545.3 申请日: 2012-10-30
公开(公告)号: CN103252846A 公开(公告)日: 2013-08-21
发明(设计)人: 纳吉布·艾尔·哈达欧 申请(专利权)人: 应用材料瑞士有限责任公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 张欣
地址: 瑞士*** 国省代码: 瑞士;CH
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摘要: 发明涉及金刚石线锯装置和方法,提供了一种金刚石线锯装置(100),其用于切割锭(302、304、306、308)。该金刚石线锯装置包括适用于相对于所述锭移动的金刚石线(230),以及金刚石线缺陷检测系统(1),其被配置成向所述金刚石线(230)施加交流信号。此外,提供了用于操作金刚石线锯装置来切割锭的方法。
搜索关键词: 金刚石 装置 方法
【主权项】:
一种金刚石线锯装置(100),其用于通过金刚石线(230)来切割锭(302、304、306、308),其中金刚石线锯适用于相对于所述锭移动所述金刚石线,所述金刚石线锯装置包括:金刚石线缺陷检测系统(1),其配置成向所述金刚石线(230)施加交流信号。
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