[发明专利]裸片位置判定系统有效

专利信息
申请号: 201210440043.2 申请日: 2012-11-06
公开(公告)号: CN103808255B 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 柴田光彦 申请(专利权)人: 株式会社富士
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00;H01L21/67
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 穆德骏;谢丽娜
地址: 日本爱知*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种判定利用吸嘴吸附的裸片的位置的裸片位置判定系统,兼顾生产效率提高和裸片的成品率提高这两方面。在晶片托盘(22)的上表面的两个部位设有基准位置标记(41),并且预先将在以基准位置标记的位置为基准的晶片托盘的坐标系中生成的裸片排列位置信息存储在存储单元中。利用相机来拍摄在裸片拾取装置的规定位置上设置的晶片托盘上的两个基准位置标记,处理该拍摄图像而识别裸片拾取装置的机械坐标系中的两个基准位置标记的位置,计算晶片托盘的坐标系相对于裸片拾取装置的机械坐标系的位置偏差量,根据该位置偏差量来校正裸片排列位置信息,由此求出裸片拾取装置的机械坐标系中的各裸片(21)的排列位置。
搜索关键词: 位置 判定 系统
【主权项】:
1.一种裸片位置判定系统,判定利用裸片拾取装置的吸嘴或设置有该裸片拾取装置的零件安装机的吸嘴来吸附切割片上的裸片的过程中的裸片位置,所述裸片拾取装置安装有晶片托盘,该晶片托盘上张设有所述切割片,该切割片上粘贴有通过对晶片进行切割而形成的裸片,其特征在于,具备:一个或多个基准位置标记,其中,在具备多个基准位置标记的情况下,所述多个基准位置标记设置于所述晶片托盘的上表面中的比所述晶片靠外侧的位置,在具备一个基准位置标记的情况下,所述一个基准位置标记设置在所述晶片托盘的上表面中的比所述晶片靠外侧的位置,并且具有方向性的形状,使得能够计测所述裸片拾取装置的机械坐标系与所述晶片托盘的坐标系之间的位置偏差量;存储单元,存储有在以所述基准位置标记的位置为基准的所述晶片托盘的坐标系中生成的所述裸片的排列位置信息;相机,拍摄设置在规定位置的所述晶片托盘的基准位置标记;图像处理单元,处理所述相机的拍摄图像而识别所述裸片拾取装置或所述零件安装机的机械坐标系中的所述基准位置标记的位置;和裸片位置运算单元,基于由所述图像处理单元识别出的所述基准位置标记的位置和存储于所述存储单元中的所述裸片的排列位置信息,计算所述裸片拾取装置或所述零件安装机的机械坐标系中的所述裸片的位置。
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