[发明专利]溶胶凝胶法制备（110）晶面择优生长的高剩余极化强度的BiFeO3 薄膜的方法有效
| 申请号： | 201210441407.9 | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN103060887A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 谈国强;薛旭 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | C30B5/02 | 分类号： | C30B5/02;C30B29/22 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 蔡和平 |
| 地址： | 710021 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种溶胶凝胶法制备（110）晶面择优生长的高剩余极化强度的BiFeO3薄膜的方法，包括以下步骤：以硝酸铋、硝酸铁、硝酸钕和硝酸钴为原料，按摩尔比0.90:1-x:0.15:x（x=0.01~0.03）溶于混合的乙二醇甲醚和醋酸酐中（体积比3:1），其中铋离子过量5%以补偿薄膜退火过程中的挥发，得到金属离子浓度为0.3mol/L的稳定BiFeO3前驱体溶液；在FTO基片上匀胶后烘干得干膜，然后在550℃逐层快速退火得到所期望厚度的晶态BiFeO3薄膜。本发明设备要求简单，实验条件容易达到，并且可通过精确控制前驱液溶剂比及A-B位共掺杂来制备（110）晶面择优生长的剩余极化强度大于130μC/cm2的BiFeO3薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 溶胶 凝胶 法制 110 择优 生长 剩余 极化 强度 bifeo sub 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种溶胶凝胶法制备（110）晶面择优生长的高剩余极化强度的BiFeO3薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将Bi(NO3)3·5H2O、Fe(NO3)3·9H2O、Nd(NO3)3·6H2O和Co(NO3)2·6H2O按摩尔比0.90:1‑x:0.15:x溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合液中，搅拌均匀得到稳定的BiFeO3前驱液；其中x=0.01~0.03，乙二醇甲醚和醋酸酐的体积比3:1；步骤2：采用旋涂法在FTO/glass基片上旋涂BiFeO3前驱液，匀胶结束后在200℃烘烤10~15min得干膜，然后在550℃快速退火6~8min得到晶态BiFeO3薄膜。
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