[发明专利]一种锥镜检测装置及其检测方法无效
| 申请号： | 201210441565.4 | 申请日： | 2012-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103063154A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 程珂;叶青;魏向荣;施丽敏;李旭峰;査雨;顾亚平 | 申请（专利权）人： | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种锥镜检测装置由斐索干涉仪、具有圆形光栅的玻璃基底组成，所述的玻璃基底的A面作为参考平面，B面用光刻法制作成圆形光栅，作为光栅面，所述玻璃基底的光栅面B与所述斐索干涉仪输出的单色平行光垂直，以及其检测锥镜方法。本发明实现了对各类锥镜的检测，弥补了现有技术中的空白。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种锥镜检测装置，其特征在于由斐索干涉仪、具有圆形光栅的玻璃基底组成，所述的玻璃基底的A面作为参考平面，B面用光刻法制作成圆形光栅，作为光栅面，所述玻璃基底的光栅面B与所述斐索干涉仪输出的单色平行光垂直。
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