[发明专利]产品缺陷检测方法有效
申请号: | 201210442363.1 | 申请日: | 2012-11-07 |
公开(公告)号: | CN103811367A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
发明(设计)人: | 李志国 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 牛峥;王丽琴 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种产品缺陷检测方法,将产品与产品所经历制程对应的设备进行关联,在现有的检测方法基础上结合设备状态决定具体某个产品进站检查,以实现对因设备影响下的缺陷检测,避免产品检测随机性、提高检测效率以及时效性。 | ||
搜索关键词: | 产品 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】:
一种产品缺陷检测方法,包括:预先对产品进行编号,并对制程设备进行编号、分类,形成将产品编号与对应制程设备编号、设备分类相互映射关联的产品待检测信息;根据产品待检测信息选择需要被检测的制程设备分类,并判断是否有可用的检测站点,当没有可用检测站点时,则判定产品不进站检测;若有可用检测站点则获取预定时间内制程设备状态,并判断在预定时间内制程设备状态是否异常,以及制程设备未检测时间是否超过预定时间,若制程设备状态异常或制程设备未检测时间超过预定时间,则根据产品待检测信息将状态异常或制程设备未检测时间超过预定时间的制程设备对应的产品进站检测;若判定存在状态无异常且未检测时间未超过预定时间的制程设备,则进一步判断制程设备是否有缺陷分析结果,若无缺陷分析结果则根据产品待检测信息将无缺陷分析结果的制程设备对应的产品进站检测;若有缺陷分析结果则判断制程设备的缺陷分析结果是否在允收范围内,若分析结果在允收范围内则根据产品待检测信息判定分析结果在允收范围内的制程设备所对应的产品不进站检测;若分析结果在允收范围外则根据产品待检测信息将分析结果在允收范围外的制程设备所对应的产品进站检测。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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