[发明专利]一种平行透镜闭环电源的控制方法无效
| 申请号： | 201210444822.X | 申请日： | 2012-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN103809431A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 万伟 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B11/42 | 分类号： | G05B11/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机平行透镜闭环电源的控制方法，包括：设置平行透镜输入值(1)、PSI1(2)、电源(3)、平行透镜中高斯计(4)、高斯计得到的返回高斯值(5)、PSI2(6)、PID算法(7)、PID算法得到的高斯值(8)，本方法涉及离子注入机，属于半导体制造领域。本方法通过平行透镜PID算法得到的高斯值与输入值的比较，可以使得软件对平行透镜电源的控制更加精确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平行 透镜 闭环 电源 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种平行透镜闭环电源的控制方法其特征在于：通过平行透镜输入值(1)和PID算法得到的高斯值(8)进行多次比较校准，使得得到的值更加精确。
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