[发明专利]一种深紫外氟化镁晶体生长方法无效
申请号: | 201210448959.2 | 申请日: | 2012-10-31 |
公开(公告)号: | CN102925963A | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 王冬;胡卫东 | 申请(专利权)人: | 合肥嘉东科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 安徽省合肥经*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 一种深紫外氟化镁晶体生长方法,它涉及单晶生长技术领域。它包括步骤为:将MgF2和ZnF2混合粉体和种晶放入铂坩埚;将铂坩埚放入单晶炉中,将单晶炉内通入氮气;采用开放式提拉法生长氟化镁单晶。本发明生长晶体完整性好,无气泡无包络物,晶体尺寸大,不易开裂,紫外波段透过率高,成品率高,工艺设备简单,能耗低,有利于实现工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 深紫 氟化 晶体生长 方法 | ||
【主权项】:
一种深紫外氟化镁晶体生长方法,包括以下步骤:将MgF2和ZnF2混合粉体和种晶放入铂坩埚;将铂坩埚放入单晶炉中,将单晶炉内通入氮气;采用开放式提拉法生长氟化镁单晶。
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