[发明专利]用双真空规气路转换测量材料放气率的装置及方法有效
| 申请号： | 201210451439.7 | 申请日： | 2012-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102937559A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 董猛;冯焱;盛学民;魏万印;孙雯君;刘珈彤 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 |
| 主分类号： | G01N7/00 | 分类号： | G01N7/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;付雷杰 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用双真空规气路转换测量材料放气率的装置及方法，属于测量领域。所述装置包括：第一机械泵、第一分子泵、第一真空阀门、第二分子泵、下游室、第一小孔、第一上游室、第二上游室、第二小孔、第一真空规、第二真空阀门、第二真空规、第三真空阀门、第三真空规、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门、第四真空规、样品室、样品、第七真空阀门、第三分子泵、第二机械泵。所述装置及方法使得真空材料放气率的测量精度高，不确定度小，且延伸了测量下限，测量范围宽。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 规气路 转换 测量 材料 放气 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用双真空规气路转换测量材料放气率的装置，其特征在于：所述装置包括：第一机械泵（1）、第一分子泵（2）、第一真空阀门（3）、第二分子泵（4）、下游室（5）、第一小孔（6）、第一上游室（7）、第二上游室（8）、第二小孔（9）、第一真空规（10）、第二真空阀门（11）、第二真空规（12）、第三真空阀门（13）、第三真空规（14）、第四真空阀门（15）、第五真空阀门（16）、第六真空阀门（17）、第四真空规（18）、样品室（19）、样品（20）、第七真空阀门（21）、第三分子泵（22）、第二机械泵（23）；第一机械泵（1）、第一分子泵（2）、第一真空阀门（3）、第二分子泵（4）、下游室（5）依次相连，下游室（5）通过第一小孔（6）与第一上游室（7）相连通，下游室（5）通过第二小孔（9）与第二上游室（8）相连通，第一真空规（10）与下游室（5）相连；下游室（5）与第二真空阀门（11）的一端相连，第二上游室（8）与第三真空阀门（13）的一端相连，第二真空阀门（11）的另一端和第三真空阀门（13）的另一端合成一路后与第二真空规（12）相连；第三真空规（14）通过第四真空阀门（15）与第二上游室（8）相连；第二上游室（8）与第五真空阀门（16）的一端相连，第一上游室（7）与第六真空阀门（17）的一端相连，第五真空阀门（16）的另一端和第六真空阀门（17）的另一端合成一路后与样品室（19）相连；样品（20）位于样品室（19）中第四真空规（18）、样品室（19）还通过第七真空阀门（21）与第三分子泵（22）、第二机械泵（23）依次相连；所述第一小孔（6）和第二小孔（9）的流导值相同。
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