[发明专利]一种全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜的制备方法，电解质薄膜为非晶无定形态的氮化磷酸锂薄膜，该制备方法采用射频磁控溅射方法。本发明方法制备的LiPON薄膜为非晶无定形态，离子电导率大于2×10-6S/cm，并且具有热力学稳定性好和电化学窗口宽等良好的电化学性能，是非常理想的固体电解质材料，特别适于生产体积小、高能量密度、寿命长的全固态薄膜锂离子电池。

主权项

一种全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜的制备方法，所述电解质薄膜为氮化磷酸锂薄膜，其特征在于：所述的氮化磷酸锂薄膜为非晶无定形态，所述制备方法采用射频磁控溅射方法，具体包括依次进行的如下步骤：①、以相对密度大于等于99%、纯度大于99.9%的Li3PO4作为靶材，安装好靶材和基片后，关闭溅射室，将溅射室抽真空至1.0×10‑4Pa或以下，充入1个大气压的氦气与氢气的混合气体，混合气体中，氦气与氢气的体积比为0.2~1:1，再将室内气体压强抽至0.1~3Pa；②、预溅射，以清理靶材表面的氧化层和杂质；③、设定溅射功率范围为1W/cm2~6W/cm2，靶基距离为40mm~100mm，溅射时间为2~10小时，形成非晶无定形态的氮化磷酸锂薄膜。