[发明专利]三维金属微纳米器件的制备方法有效
| 申请号： | 201210452073.5 | 申请日： | 2012-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102951604A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 段宣明;贾雁鹏;董贤子;田野;刘前;赵震声 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张雪梅 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种三维金属微纳米器件的制备方法。该方法包括利用飞秒激光束在第一光刻胶中形成聚合物第一结构；对聚合物第一结构表面进行活化；用第二光刻胶覆盖经活化的聚合物第一结构；利用飞秒激光束在第二光刻胶中形成部分地接触第一结构的第二结构，得到部分地暴露经活化的第一结构表面的复合体；和在电镀液中对所述复合体进行无极电镀，在所述暴露的第一结构表面上形成金属薄膜，得到三维金属微纳米器件。通过选择分别加工第一结构和第二结构以在三个维度上准确套刻，并结合无极电镀工艺，可以实现微纳米结构的选择性电镀，并得到任意三维金属微纳米结构的三维金属微纳米器件。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 金属 纳米 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种制作三维金属微纳米器件的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：利用飞秒激光束在第一光刻胶中形成聚合物第一结构；对聚合物第一结构表面进行活化；用第二光刻胶覆盖经活化的聚合物第一结构；利用飞秒激光束在第二光刻胶中形成部分地接触第一结构的第二结构，得到部分地暴露经活化的第一结构表面的复合体；以及在电镀液中对所述复合体进行无极电镀，在所述暴露的第一结构表面上形成金属薄膜，得到三维金属微纳米器件。
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