[发明专利]一种方型晶片对中结构

摘要

本发明涉及半导体晶片加工过程中晶片精确定位的设备，具体地说是一种方型晶片对中结构，包括夹紧气缸、X轴夹紧块、Y轴夹紧组件、真空吸盘及支架，真空吸盘安装在支架上，方型晶片放在该真空吸盘上；方型晶片在X轴方向的两侧分别设有连接在夹紧气缸输出端的X轴夹紧块，方型晶片两侧的X轴夹紧块通过夹紧气缸驱动沿X轴夹紧定位方型晶片；方型晶片在Y轴方向的两侧分别设有安装在X轴夹紧块上的Y轴夹紧组件，Y轴夹紧组件包括多个连杆及Y轴夹紧滚轮，Y轴夹紧滚轮通过所述连杆连接于X轴夹紧块上，在X轴夹紧块的带动下沿Y轴夹紧定位方型晶片。本发明具有结构简单可靠、成本低、定位精度高、运动平稳等优点。

主权项

一种方型晶片对中结构，其特征在于：包括夹紧气缸（1）、X轴夹紧块、Y轴夹紧组件、真空吸盘（11）及支架（18），其中真空吸盘（11）安装在支架（18）上，方型晶片（2）放在该真空吸盘（11）上；所述方型晶片（2）在X轴方向的两侧分别设有连接在夹紧气缸（1）输出端的X轴夹紧块，方型晶片（2）两侧的X轴夹紧块通过夹紧气缸（1）驱动沿X轴夹紧定位方型晶片（2）；所述方型晶片（2）在Y轴方向的两侧分别设有安装在X轴夹紧块上的Y轴夹紧组件，所述Y轴夹紧组件包括多个连杆及Y轴夹紧滚轮，其中Y轴夹紧滚轮通过所述连杆连接于X轴夹紧块上，在X轴夹紧块的带动下沿Y轴夹紧定位方型晶片（2）。