[发明专利]扫描电镜的电子束的检测方法、微细图形的检测方法有效
| 申请号： | 201210455060.3 | 申请日： | 2012-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN103809197A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 蔡博修 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;G01B15/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种扫描电镜的电子束的检测方法、微细图形的检测方法，其中，本发明的扫描电镜的电子束的检测方法，包括：提供检测样品，检测样品表面形成有沿第一方向的直线图形；提供相同曝光工艺下标准模型的功率谱密度曲线；通过扫描电镜获取检测样品的直线图形的边缘轮廓；以固定采样频率对检测样品的直线图形的边缘轮廓进行采样，得到各采样点处的直线图形沿第二方向的变化幅度；根据所述变化幅度，得到检测样品的功率密度曲线；比较检测样品的功率密度曲线和标准模型的功率密度曲线，判断电子束在第二方向上的质量是否合格。本发明实施例中检测电子束的检测结果更为准确。采用经本发明实施例检测合格的电子束，检测微细图形，获得的尺寸精确。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜 电子束 检测 方法 微细 图形 | ||
【主权项】：
一种扫描电镜的电子束的检测方法，其特征在于，包括：提供检测样品，所述检测样品表面形成有沿第一方向的直线图形；提供相同曝光工艺下标准模型的功率谱密度曲线；通过扫描电镜获取所述检测样品的直线图形的边缘轮廓；以固定采样频率对检测样品的直线图形的边缘轮廓进行采样，得到各采样点处的直线图形沿第二方向的变化幅度，所述第二方向垂直于第一方向；根据所述变化幅度，得到检测样品的功率密度曲线；比较检测样品的功率密度曲线和标准模型的功率密度曲线，判断电子束在第二方向上的质量是否合格。
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