[发明专利]一种晶体硅太阳能电池多层二氧化硅减反射膜

摘要

本发明公开一种晶体硅太阳能电池多层二氧化硅减反射膜，其特征是，包括沉积在硅基衬底表面的折射率为2.2-2.3的致密层二氧化硅薄膜，沉积在致密层二氧化硅薄膜上的折射率为2-2.1的中间层二氧化硅薄膜，沉积在中间层二氧化硅薄膜上的折射率为1.9-2的稀疏层二氧化硅薄膜所述的各层氧化硅薄膜的折射率从下往上依次减小，且顶层折射率小于2。与现有技术相比，本发明在硅片衬底上沉积三层反射率和厚度均不同的二氧化硅膜，提高了电池片的体钝化效果，降低了减反射膜对光的反射率，从而提高太阳能电池的转换效率。

主权项

一种晶体硅太阳能电池多层二氧化硅减反射膜，其特征是，包括沉积在硅基衬底(1)上的至少三层二氧化硅薄膜，所述的各层氧化硅薄膜的折射率从下往上依次减小，且顶层折射率小于2。