[发明专利]在线测定和控制铝蚀刻液中各种酸浓度的方法

摘要

本发明提供一种在线测定和控制铝蚀刻液中各种酸浓度的方法，通过在线取样进入自动滴定仪，利用动态pH滴定模式，通过pH电极信号的变化，找到各酸的滴定终点，然后依据滴定剂的标定结果和消耗量，计算样品中硝酸、磷酸和醋酸的含量，测定结果输入电脑主机，进而控制醋酸、硝酸和磷酸向供应槽的补充量，维持槽内铝蚀刻液中三种酸的浓度在规定范围之内。这种检测方法的相对误差低于6%，相对标准偏差低于3%，且可以随时取样，检测速度快，能及时反馈各酸的在线数据，实现铝蚀刻液中各酸浓度的有效控制，使蚀刻机台的蚀刻效果达到最佳。

主权项

在线测定和控制铝蚀刻液中各种酸浓度的方法，所述铝蚀刻液包含硝酸、磷酸和醋酸，铝蚀刻液盛装在供应槽内，经过连接管线进入蚀刻机台，其特征在于：设置硝酸调节槽、磷酸调节槽和醋酸调节槽，分别盛放比所述铝蚀刻液当中浓度高的相应酸液，在线引取铝蚀刻液样品进入自动滴定仪，所述自动滴定仪配有缓冲溶剂和碱性滴定剂供给机构，对引取的铝蚀刻液样品当中的硝酸、磷酸和醋酸的含量进行测定，测定结果输入电脑主机，进而控制所述醋酸调节槽、硝酸调节槽和磷酸调节槽的出料量，使这三种调节槽内贮存的高浓度酸液按需向所述供应槽内补充，维持所述供应槽内铝蚀刻液中三种酸的浓度在蚀刻工序所要求的范围之内。