[发明专利]一种湿度敏感薄膜的制备方法

摘要

一种湿度敏感薄膜的制备方法，将六水合硝酸钴溶于无水乙醇中，然后再向其中加入酞酸丁酯得溶液A；向溶液A中滴加柠檬酸水溶液得溶胶B；将溶胶B在20℃～60℃静置得凝胶C；将基片浸入凝胶C中，竖直匀速提拉镀膜，并立即干燥，以镀膜的重复次数控制薄膜的厚度；干燥后的薄膜在300℃～700℃下退火，随炉冷却得到目标产物--CoTiO3湿度敏感薄膜。本发明制备的湿度敏感CoTiO3薄膜与基片结合紧密，薄膜均匀平整，厚度可控。薄膜在室温条件下表现出良好的灵敏度，在10％～95％RH相对湿度环境中电阻值最多下降了3个数量级。这种工艺制备简单，操作方便，重复性好，原料易得，制备成本较低。

主权项

一种湿度敏感薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1）取分析纯的六水合硝酸钴（Co(NO3)2·6H2O）和能够完全溶解六水合硝酸钴（Co(NO3)2·6H2O）的分析纯无水乙醇（C2H5OH），将分析纯的六水合硝酸钴（Co(NO3)2·6H2O）溶解于分析纯无水乙醇（C2H5OH）中，然后再向其中缓慢加入分析纯的酞酸丁酯（Ti(OC4H9)4），配制成Co2+：Ti4+＝1：（0.5～3）摩尔比的混合溶液，常温下充分搅拌得到均匀的红色透明溶液A；2）向溶液A中缓慢滴加柠檬酸水溶液，调节溶液pH值为1.0～7.0，得到紫红色溶胶B；3）将溶胶B在20℃～60℃静置10h～48h，得到凝胶C；4）将清洗干净的基片浸入凝胶C中静置2s～60s，以1cm/min～10cm/min的提拉速度竖直匀速提拉镀膜，并立即放入50℃烘箱中干燥，以镀膜的重复次数控制薄膜的厚度；5）干燥后的薄膜在300℃～700℃下退火处理1h～8h，随炉冷却得到目标产物‑‑CoTiO3湿度敏感薄膜。