[发明专利]化学气相沉积装置及其清洁方法

摘要

本发明涉及一种化学气相沉积装置。所述化学气相沉积装置将清洁工具从传输腔传输到所述反应腔，并将所述清洁工具安装在反应腔内的顶壁上的清洁工具安装部上，以清洁所述反应腔内的承载部件；所述化学气相沉积装置还可以翻转所述清洁工具，并将所述清洁工具设置在所述承载部件上，以清洁所述反应腔的顶壁。本发明的化学气相沉积装置可以自动清洁所述反应腔的顶壁和承载部件，缩短了清洁时间，提高了所述化学气相沉积装置的生产效率。本发明同时提供一种化学气相沉积装置的清洗方法。

主权项

一种化学气相沉积装置，包括：反应腔、传输腔，所述反应腔具有顶壁，所述反应腔底部设置有承载部件，所述反应腔设置有加热器与致动装置，所述传输腔内设置有传输装置用以在所述传输腔和所述反应腔之间传输待处理或处理完毕的基片或承载有基片的板部件，所述承载部件具有承载面，其特征在于，所述化学气相沉积装置还包括清洁工具，所述清洁工具具有刮擦部和固定部，所述反应腔具有清洁工具安装部，当所述固定部安装在清洁工具安装部上时，所述致动装置驱动所述承载面使其相对所述清洁工具运动以使得所述清洁工具对所述承载面进行清洁，当翻转所述清洁工具后，并将所述固定部设置在所述承载面上时，所述致动装置驱动所述承载面运动，以使得所述清洁工具接触所述顶壁并相对所述顶壁运动以对所述顶壁进行清洁。