[发明专利]金属有机化学气相沉积系统及其传输承载腔与传输方法

摘要

本发明涉及一种金属有机化学气相沉积系统，其包括反应腔、传输承载腔。所述反应腔顶部具有喷淋组件，所述反应腔底部具有与所述喷淋组件相对设置的基座。所述传输承载腔内设置有机械手，所述传输承载腔内还设置有部件承载单元，所述部件承载单元至少能够承载两片板部件，所述基座至少可承载两片所述板部件，所述板部件可被所述机械手在所述传输承载腔与反应腔之间传输。本发明的金属有机化学气相沉积系统的传输承载腔有效地减少了所述金属有机化学气相沉积系统的占地面积并且提高了生产效率。本发明同时还提供了所述金属化学气相沉积系统的传输承载腔及其传输方法。

主权项

一种金属有机化学气相沉积系统，包括：反应腔、传输承载腔，所述反应腔顶部具有喷淋组件，所述反应腔底部具有与所述喷淋组件相对设置的基座，所述传输承载腔内设置有机械手，其特征在于，所述传输承载腔内还设置有部件承载单元，所述传输承载腔包括第一区与第二区，所述第一区设置有可以伸缩运动的所述机械手，所述第二区设置有所述部件承载单元，所述第一区的体积小于所述第二区的体积，所述部件承载单元至少能够承载两片板部件，所述基座至少可承载两片所述板部件，所述板部件可被所述机械手在所述传输承载腔与所述反应腔之间传输，所述板部件至少可承载两片基片，所述基片包括待处理基片、处理基片或处理完毕的基片中的一种或多种。