[发明专利]一种去除聚酰亚胺柔性电极制备过程中光刻胶的方法无效
| 申请号： | 201210459680.4 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102981378A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 吕树申;符远翔;王晓明;莫冬传;潘亚宏 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 倪小敏 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种去除聚酰亚胺柔性电极制备过程中光刻胶的方法。其方法包括如下步骤：（1）将去胶剂在20~50℃的中恒温20~50min；（2）将聚酰亚胺柔性电极放入去胶剂中，待聚酰亚胺柔性电极周围的去胶剂变成红色后，将聚酰亚胺柔性电极在去胶剂中进行来回摆动1~10min，取出，洗涤；（3）将经步骤（2）处理得到的聚酰亚胺柔性电极用具有一定刚性的细材对聚酰亚胺柔性电极周围的毛边进行刮除，洗涤，干燥。该方法既能快速的除去表面的光刻胶得到表面光滑、无毛边的电极，又不会因电极置于高温体系中，使细的电极部件因高温引起金属应力造成脱落而使电极制备失败。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 聚酰亚胺 柔性 电极 制备 过程 光刻 方法 | ||
【主权项】：
一种去除聚酰亚胺柔性电极制备过程中光刻胶的方法，其特征在于包括如下步骤：（1）将去胶剂恒温至20~50℃；（2）将聚酰亚胺柔性电极放入去胶剂中，待聚酰亚胺柔性电极周围的去胶剂变成红色后，将聚酰亚胺柔性电极在去胶剂中进行来回摆动1~10min，取出，洗涤；（3）将经步骤（2）处理得到的聚酰亚胺柔性电极周围的毛边进行刮除，洗涤，干燥。
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