[发明专利]一种线宽量测装置有效
| 申请号： | 201210459757.8 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102914266A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 林勇佑 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种线宽量测装置，用于撷取待测图案的影像，所述线宽量测装置至少包括：第一背向光源和第二背向光源，所述第一背向光源和所述第二背向光源分别装设在待测图案底侧的下方，并投射背向照明在所述待测图案上；取像装置，装设在待测图案顶侧的上方，用以撷取所述待测图案的影像。实施本发明的线宽量测装置，在有效避免阴影产生，提高取像装置对待测图案取像精准性的基础上，进一步减少了使用光源的台数，降低线宽量测装置的改装及维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线宽量测 装置 | ||
【主权项】：
一种线宽量测装置，用于撷取待测图案的影像，其特征在于，所述线宽量测装置至少包括：第一背向光源和第二背向光源，所述第一背向光源和所述第二背向光源分别装设在待测图案底侧的下方，并投射背向照明在所述待测图案上；取像装置，装设在待测图案顶侧的上方，用以撷取所述待测图案的影像。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210459757.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
