[发明专利]石英晶体微天平质量传感器无效
| 申请号： | 201210459990.6 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102967521A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 黄显核;付玮 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 李顺德;王睿 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
为了提高QCM质量传感器质量灵敏度的均匀性，本发明提供具有一种不对称电极结构的QCM质量传感器，属于电子技术领域。包括圆形石英晶片和分别位于圆形石英晶片上下两面的金属电极，其中下金属电极为一半径为m的圆电极，上金属电极为双环状电极，由一个内环状电极21(内半径为s、外半径为t)和与内环状电极21同心的外环状电极22(内半径为n、外半径为m)构成，且t | ||
| 搜索关键词： | 石英 晶体 天平 质量 传感器 | ||
【主权项】：
石英晶体微天平质量传感器，包括圆形石英晶片（1），所述圆形石英晶片（1）上下两面分别具有上金属电极（2）和下金属电极（3），经过圆形石英晶片（1）几何中心的法线与经过上金属电极（2）几何中心的法线和经过下金属电极（3）几何中心的法线三者保持重合；其特征在于，所述下金属电极（3）为一半径为m的圆电极；所述上金属电极2为一双环状电极，由一个内环状电极21和与内环状电极21同心的外环状电极22构成；所述内环状电极21的内半径为s、外半径为t，所述外环状电极22的内半径为n、外半径为m，且t
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