[发明专利]一种溶胶工艺沉积二氧化锡薄膜的方法

摘要

本发明提供了一种溶胶工艺沉积二氧化锡薄膜的方法，属于陶瓷材料领域。将锡化合物、掺杂体化合物、具有配位能力的化合物等一并溶解于水中，调节体系的pH值，使体系发生溶胶化过程，获得稳定的溶胶；将沉积基体材料浸入上述溶胶中，使得二氧化锡溶胶沉积于上述基体表面；对该基体进行高温气氛处理，得到电阻率可以在一定范围内按指定要求调整的二氧化锡薄膜。

主权项

一种溶胶工艺沉积二氧化锡薄膜的方法，其特征在于：包括溶胶的配制、溶胶在基体表面的沉积以及二氧化锡薄膜的高温气氛转化形成。