[发明专利]绝缘膜用组合物及三维垂直孔的孔壁上形成绝缘膜的方法有效
| 申请号： | 201210460664.7 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102925024A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 孙蓉;张国平;赵松方;郭慧子 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C09D161/06 | 分类号： | C09D161/06;C09D5/25 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种绝缘膜用组合物，按质量份包括酚醛树脂100份、稀释剂50~300份、增粘剂1~20份、成膜剂20~150份、交联剂50~150份及白碳黑5~20份。这种组分和配比使得由该绝缘膜用组合物形成的绝缘膜具有介电常数低的特点，能够广泛应用于半导体集成器件中。进一步地，本发明还提供一种在三维垂直孔的孔壁上形成绝缘膜的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 绝缘 组合 三维 垂直 壁上 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种绝缘膜用组合物，其特征在于，按质量份包括以下组分：酚醛树脂：100份；稀释剂：50~300份；增粘剂：1~20份；成膜剂：20~150份；交联剂：50~150份；及白碳黑：5~20份。
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D161-00 基于醛或酮的缩聚物的涂料组合物
C09D161-02 .只是醛或酮的缩聚物
C09D161-04 .只是醛或酮与酚的缩聚物
C09D161-18 .只是醛或酮与芳烃或其卤素衍生物的缩聚物
C09D161-20 .醛或酮只与含有氢连接到氮上的化合物的缩聚物
C09D161-34 .醛或酮与至少包括在C09D 161/04、C09D 161/18和C09D 161/20两个组中的单体的缩聚物
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D161-00 基于醛或酮的缩聚物的涂料组合物
C09D161-02 .只是醛或酮的缩聚物
C09D161-04 .只是醛或酮与酚的缩聚物
C09D161-18 .只是醛或酮与芳烃或其卤素衍生物的缩聚物
C09D161-20 .醛或酮只与含有氢连接到氮上的化合物的缩聚物
C09D161-34 .醛或酮与至少包括在C09D 161/04、C09D 161/18和C09D 161/20两个组中的单体的缩聚物
