[发明专利]一种玻璃减薄刻蚀液补充液无效
| 申请号： | 201210461629.7 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102923963A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 黄源;徐雅玲;尹云舰;刘志彪;邢攸美 | 申请（专利权）人： | 杭州格林达化学有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 周烽 |
| 地址： | 311228 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种玻璃减薄刻蚀液补充液，可显著延长玻璃刻蚀液的使用寿命，减少或免除刻蚀废液的处理过程。其主要组成为：HF为20-55%，碱金属盐为0.1-5%，0.001-0.1%脂肪醇聚氧乙烯醚类表面活性剂，其余为水。优选HF浓度为30-45%，碱金属盐浓度0.2-1%。碱金属盐可为锂盐，钠盐，和钾盐，可优选钠盐；对应酸根离子可为无机酸根离子如氟离子，氯离子，硝酸根离子，硫酸（氢）根离子，磷酸（氢）根离子，碳酸（氢）根离子等；或有机酸根离子如醋酸和带有上述酸根离子的离子型表面活性剂。可选择一种或几种碱金属盐的混合物。可适用于槽式或淋洗式处理工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 刻蚀 补充 | ||
【主权项】：
一种玻璃减薄刻蚀液补充液，其特征在于，按重量百分比计，它包括20‑55%的氢氟酸，0.01‑30%的碱金属盐，0.001‑0.1%脂肪醇聚氧乙烯醚表面活性剂，余下组分为水。
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