[发明专利]一种氧化铟锡薄膜的处理工艺无效
| 申请号： | 201210461967.0 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103801532A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 张恒 | 申请（专利权）人： | 张恒 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 王澎 |
| 地址： | 264003 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化铟锡薄膜的处理工艺，其特征在于，所述工艺方法如下：将氧化铟锡薄膜放入盛有异丙醇的烧杯中浸泡15分钟；浸泡完后，放入超声机中超声5分钟；取出氧化铟锡薄膜，将其放入20%浓度的磷酸溶液中浸泡15分钟；取出氧化铟锡薄膜，用去离子水冲洗。本发明方法能够使氧化铟锡薄膜的表面电阻基本保持不变，但表面更加平整，透光率不变，更加适宜用作OLEDs的基底；经过浓度为20%磷酸处理后的器件，其发光效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 薄膜 处理 工艺 | ||
【主权项】：
一种氧化铟锡薄膜的处理工艺，其特征在于，所述工艺方法如下：（1）将氧化铟锡薄膜放入盛有异丙醇的烧杯中浸泡15分钟；（2）浸泡完后，放入超声机中超声5分钟；（3）取出氧化铟锡薄膜，将其放入20%浓度的磷酸溶液中浸泡15分钟；（4）取出氧化铟锡薄膜，用去离子水冲洗。
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