[发明专利]一种生产多晶硅的还原炉无效
申请号: | 201210462045.1 | 申请日: | 2012-11-04 |
公开(公告)号: | CN102923708A | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 张海峰 | 申请(专利权)人: | 张海峰 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 乌海市知新专利事务所 15104 | 代理人: | 靳红霞 |
地址: | 016064 内蒙古自治区鄂尔多*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明公开了一种生产多晶硅的还原炉,炉体包括炉筒、底盘,底盘上具有电极,炉筒内壁和或底盘上固定有阻辐射抗力冲击屏,屏与炉筒内壁间具有间隙,屏分块固定在炉筒内壁或底盘上,炉筒设有氢气注入孔,屏材质为氮化硅或碳化硅,屏通过钼螺栓固定在炉筒内壁或底盘上。本发明阻辐射抗力冲击屏阻止了热量向炉筒壁的辐射,减少了热量损失,避免硅棒倒棒对炉筒的损坏,并能随时更换损坏的屏。本发明结构简单,大大降低生产多晶硅的能耗,炉体使用寿命长,不需要经常清洗炉壁,工作效率高,运行成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 生产 多晶 还原 | ||
【主权项】:
一种生产多晶硅的还原炉,炉体包括炉筒、底盘,底盘上具有电极,其特征在于:所述炉筒内壁上固定有阻辐射抗力冲击屏,所述的屏与炉筒内壁间具有间隙。
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