[发明专利]探针针压校正方法及其校正设备

摘要

本发明涉及一种探针针压校正方法，其在一第一探针及一第二探针与一待测物电性接触之后，使该第一探针离开该待测物之后，再往该待测物进给并接触该待测物，过程中，撷取一与各个探针电连接的针压检测单元的跨电压，并在侦测到该跨电压自一恒定值下降之后，停止该第一探针的进给动作。最后，使该第二探针重复该第一探针的前述动作，由此，可确保各个探针能以实质上相同的针压与该待测物确实电性接触。本发明还同时公开了一种可实施前述针压校正方法的探针针压校正设备。

主权项

一种探针针压校正方法，其特征在于包含有下列步骤：a)使一第一探针与一第二探针电性接触一待测物，其中所述第一探针与所述第二探针分别电性耦接至一针压检测电路的一第一接点与一第二接点，所述针压检测电路具有一电源以及与所述电源电连接的一针压检测单元，所述针压检测单元包含有一升压元件以及与所述升压元件并联的一探针连接线路，所述探针连接线路具有所述第一接点与所述第二接点；b)使所述第一探针离开所述待测物而与所述待测物电性绝缘；c)撷取所述针压检测单元的跨电压，同时使所述第一探针朝向所述待测物近接位移而再次与所述待测物电性接触，并在侦测到所述针压检测单元的跨电压自一恒定值下降之后，停止所述第一探针的动作；d)使所述第二探针离开所述待测物而与所述待测物电性绝缘；e)撷取所述针压检测单元的跨电压，同时使所述第二探针朝向所述待测物接近位移而再次与所述待测物电性接触，并在侦测到所述针压检测单元的跨电压自一恒定值下降之后，停止所述第二探针的动作。