[发明专利]DBC基板翘曲激光测量装置

摘要

本发明DBC基板翘曲激光测量装置，包括：下底板；测量平台，测量平台设置在下底板上；上底板，上底板设置在下底板上，上底板通过上底板两侧的支撑杆设置在下底板上；滑动机构，滑动机构设置在上底板上；测量机构，测量机构通过支架与滑动机构连接，测量机构设置在测量平台的上方；以及散热片，散热片设置在支架上，散热片设置在测量机构与待测样品之间。本发明DBC基板翘曲激光测量装置通过激光发射和接受，实现非接触式DBC基板翘曲的测量，提高测量精度；同时激光发射接收器通过支架装在导轨上，通过转动螺栓带动齿轮，使滑块在导轨上移动，导轨与测量平台相互平行，实现激光与被测物之间的翘曲的测量。

主权项

DBC基板翘曲激光测量装置，其特征在于，包括：下底板；测量平台，所述测量平台设置在所述下底板上；上底板，所述上底板设置在所述下底板上，所述上底板通过所述上底板两侧的支撑杆设置在所述下底板上；滑动机构，所述滑动机构设置在所述上底板上；测量机构，所述测量机构通过支架与所述滑动机构连接，所述测量机构设置在所述测量平台的上方；以及散热片，所述散热片设置在所述支架上，所述散热片设置在所述测量机构与待测样品之间。